檢漏步驟為: 若步驟1和2均未檢出漏點(diǎn)，就要考慮各個(gè)真空泵性能的問題，首要檢查機(jī)械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會(huì)大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機(jī)械泵的閥片,通過向機(jī)械泵排氣口噴吹氦氣來檢測(cè)其閥片的密封性。擴(kuò)散泵油或擴(kuò)散泵加熱器異常也會(huì)造成極限壓不合格。還應(yīng)檢查真空計(jì)是否準(zhǔn)確以及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)是否滿足技術(shù)要求。
主要檢測(cè)范圍包括下面一些設(shè)備 部件:凝汽器及相連的負(fù)壓系統(tǒng)，包括凝汽器與汽側(cè)相聯(lián)設(shè)備管道，有二級(jí)旁路、三級(jí)誠(chéng)溫器、疏水?dāng)U容器、低加疏水、軸加疏水、空氣管道、給水泵密封水回水、真空破壞門、水位計(jì)等;低壓缸部分，包括低壓排汽、末級(jí)抽汽管道和加熱器部分，次末級(jí)抽汽管道和加熱器部分，低壓缸上方防爆膜及其結(jié)合面法蘭、低壓缸汽封以及接合面等:其他部分，包括真空壓力表頭、排汽缸溫度計(jì)套管、電接點(diǎn)水位計(jì)、疏水泵、凝結(jié)水泵機(jī)械密封等。
氦質(zhì)譜檢漏儀優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：1.采用便攜式設(shè)計(jì)，2.設(shè)備外型美觀小巧，3.采用液晶觸摸屏設(shè)計(jì)，4.有通訊接口，5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率，簡(jiǎn)便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測(cè)的精度。
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